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エレクトロマイグレーション評価 システム(AEM-2000)

400℃におけるエレクトロマイグレーション評価

半導体デバイス寿命は、この微細加工や新材料に依存するため、より過酷な寿命加速条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。
この寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、デバイス寿命を導くために必要なパラメータを求める解析ソフトを搭載。
「エレクトロマイグレーション評価システムAEM―2000」は、先端評価から生産管理まで幅広くご使用いただけるよう、操作性・信頼性・データ解析の容易さを高め、評価ニーズに的確にお応えするシステムです。

主な仕様

ストレス電流源 出力範囲 +DC0.1mA~200mA
追従電圧 35V
Extrusion用
試験電圧
出力範囲 -10.0V~-1.0V及び1.0V~20.0V
精度 ±(設定値の2%+20mV)
オーブン 温度制御範囲 +65~+400℃
温度変動幅 ±0.5℃(+65~350℃)
温度分布 ±3.5℃(at300℃)
装備品 N2ガス導入孔

システムバリエーション

型式 AEM―240C3S
AAA
AEM―160C2S
0AA
AEM―080C1S
00A
EMモジュール
出力電流
オーブン1 200mA 200mA 200mA
オーブン2 200mA 200mA -
オーブン3 200mA
評価チャンネル数 240ch 160ch 80ch
DUTボード 設置枚数 24(8×3オーブン) 16(8×2オーブン) 8
ICソケット 1ボードにつき各5(DIP 28-pin 600 mil and 300 mil共有)
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