Electromigration Evaluation System (AEM-200)

การประเมินอิเล็กโตรไมเกรชั่นที่อุณหภูมิ 400°c

อายุการใช้งานของอุปกรณ์กึ่งตัวนำขึ้นอยู่กับโครงสร้างการขึ้นรูปขนาดเล็กและวัสดุใหม่ๆ ดังนั้นการประเมินอิเล็กโตรไมเกรชั่นภายใต้เงื่อนไขอัตราเร่งอายุแบบรุนแรงมากขึ้นจึงมีความสำคัญ ซอฟต์แวร์ถูกติดตั้งสำหรับการวิเคราะห์เพื่อให้ได้มาซึ่งพารามิเตอร์ที่จำเป็นในการระบุอายุการใช้งานอุปกรณ์ โดยทำการวัดค่าปัจจัยเร่งของอายุการใช้งานคือ อุณหภูมิและความเครียดของกระแสที่มีความแม่นยำสูง "ระบบประเมินอิเล็กโตรไมเกรชั่น AEM-2000" สามารถนำไปใช้ได้ในขอบเขตที่กว้างมาก ตั้งแต่การนำไปประเมินขั้วสายไฟ จนถึงการควบคุมการผลิต อีกทั้งการทำงาน ความน่าเชื่อถือ และการวิเคราะห์ข้อมูลก็ทำได้ง่ายขึ้น เป็นระบบที่ตอบโจทย์ความต้องการในการประเมินได้ตรงจุด

ข้อมูลหลักของเครื่อง

จุดจ่ายกระแสความเครียดช่วงเอ้าท์พุต+DC0.1mA~200mA
แรงดันไฟฟ้าติดตาม35V
แรงดันทดสอบสำหรับ
Extrusion
ช่วงเอ้าท์พุต-10.0V~-1.0V และ 1.0V~20.0V
ความแม่นยำ± (ค่าการตั้งค่า 2% +20mV)
เตาอบระยะควบคุมอุณหภูมิ+65~+400℃
ช่วงความผันผวนของอุณหภูมิ±0.5℃(+65~350℃)
การกระจายอุณหภูมิ±3.5℃(at300℃)
อุปกรณ์อื่นๆช่องใส่ก๊าซ N2

ความแตกต่างของระบบ

รุ่นAEM―240C3S
AAA
AEM―160C2S
0AA
AEM―080C1S
00A
กระแสเอ้าท์พุตของ
โมดูล EM
เตาอบ 1200mA200mA200mA
เตาอบ 2200mA200mA-
เตาอบ 3200mA/
จำนวนช่องประเมิน240ch160ch80ch
บอร์ด DUTจำนวนบอร์ด24 (8×3 เตา)16 (8×2 เตา)8
ช่องเสียบ IC5 ช่อง/1 บอร์ด (DIP 28-pin 600 mil และ 300 mil ใช้ร่วมกัน)
Top