อายุการใช้งานของอุปกรณ์กึ่งตัวนำขึ้นอยู่กับโครงสร้างการขึ้นรูปขนาดเล็กและวัสดุใหม่ๆ ดังนั้นการประเมินอิเล็กโตรไมเกรชั่นภายใต้เงื่อนไขอัตราเร่งอายุแบบรุนแรงมากขึ้นจึงมีความสำคัญ ซอฟต์แวร์ถูกติดตั้งสำหรับการวิเคราะห์เพื่อให้ได้มาซึ่งพารามิเตอร์ที่จำเป็นในการระบุอายุการใช้งานอุปกรณ์ โดยทำการวัดค่าปัจจัยเร่งของอายุการใช้งานคือ อุณหภูมิและความเครียดของกระแสที่มีความแม่นยำสูง "ระบบประเมินอิเล็กโตรไมเกรชั่น AEM-2000" สามารถนำไปใช้ได้ในขอบเขตที่กว้างมาก ตั้งแต่การนำไปประเมินขั้วสายไฟ จนถึงการควบคุมการผลิต อีกทั้งการทำงาน ความน่าเชื่อถือ และการวิเคราะห์ข้อมูลก็ทำได้ง่ายขึ้น เป็นระบบที่ตอบโจทย์ความต้องการในการประเมินได้ตรงจุด
จุดจ่ายกระแสความเครียด | ช่วงเอ้าท์พุต | +DC0.1mA~200mA |
แรงดันไฟฟ้าติดตาม | 35V | |
แรงดันทดสอบสำหรับ Extrusion | ช่วงเอ้าท์พุต | -10.0V~-1.0V และ 1.0V~20.0V |
ความแม่นยำ | ± (ค่าการตั้งค่า 2% +20mV) | |
เตาอบ | ระยะควบคุมอุณหภูมิ | +65~+400℃ |
ช่วงความผันผวนของอุณหภูมิ | ±0.5℃(+65~350℃) | |
การกระจายอุณหภูมิ | ±3.5℃(at300℃) | |
อุปกรณ์อื่นๆ | ช่องใส่ก๊าซ N2 |
รุ่น | AEM―240C3S AAA | AEM―160C2S 0AA | AEM―080C1S 00A | |
กระแสเอ้าท์พุตของ โมดูล EM | เตาอบ 1 | 200mA | 200mA | 200mA |
เตาอบ 2 | 200mA | 200mA | - | |
เตาอบ 3 | 200mA | / | ||
จำนวนช่องประเมิน | 240ch | 160ch | 80ch | |
บอร์ด DUT | จำนวนบอร์ด | 24 (8×3 เตา) | 16 (8×2 เตา) | 8 |
ช่องเสียบ IC | 5 ช่อง/1 บอร์ด (DIP 28-pin 600 mil และ 300 mil ใช้ร่วมกัน) |